Высокоточная обработка вакуумных камер для наноразмерного травления
Задача: Быстрый спрос и фрагментированные цепочки поставок
С быстрым развитием электронной, полупроводниковой и фотоэлектрической (PV) промышленности спрос на специализированное оборудование для вакуумного напыления и травления стремительно растет. Из-за строгих ограничений по объему оборудования, размерам площади покрытия и различным средам покрытия, для каждой партии требуется предельная кастомизация и точность.
Ведущему производителю оборудования для наноразмерного травления (чья технология заполнила критический пробел в отечественном производстве) потребовалось быстрое, крупносерийное производство толстостенных компонентов вакуумных камер. Производители с коротким циклом и ограниченным оборудованием с трудом справлялись с многоэтапными сложностями, необходимыми для обработки толстых листов нержавеющей стали 316L и 304 до стандартов вакуумного класса.
Производственное решение Openex «под ключ»
Используя наш огромный кластер оборудования, в котором под одной крышей площадью 180 акров размещены сотни импортных тяжелых станков, Openex обошла стандартные задержки в цепочке поставок. Наши производственные, технические и сбытовые отделы сотрудничали, чтобы полностью устранить традиционные узкие места в обработке.
Для обеспечения сверхнизкого газовыделения в условиях высокого вакуума, листы из нержавеющей стали 316L толщиной 40 мм (1100 мм x 1500 мм) требовали безупречной подготовки поверхности. Openex выполнила запатентованную мокрую/масляную полировку для устранения дефектов поверхности с последующей массивной структурной правкой для обеспечения абсолютной плоскостности размеров.
Компоненты из тяжелых профилей из нержавеющей стали толщиной от 25 до 40 мм вырезались с помощью наших плазменных столов высокой четкости, обеспечивая быструю, термоконтролируемую резку почти в размер при минимизации зоны термического влияния (ЗТВ).
Готовые геометрии, включая сложные фланцевые крепления, смотровые окна и аксессуары для оптических компонентов, были выполнены на высокоточных вертикальных обрабатывающих центрах с последующим строгим соблюдением протоколов очистки вакуумного класса.
Галерея производственных компонентов
Спецификации и метрики проекта
| Характеристика проекта | Пределы параметров и детали выполнения |
|---|---|
| Объемы производства | Первоначальная партия из 60 комплектов (поставлена до конца мая) + расширение контракта до 160 комплектов. **Исторически успешно поставлено более 200 единиц. |
| Материал и размеры | Нержавеющая сталь 316L: 40 мм x 1100 мм x 1500 мм. Нержавеющая сталь 304: вариации листов от 25 мм до 40 мм. |
| Задействованные возможности | Плазменная резка, правка материала, мокрая/масляная прецизионная шлифовка, вертикальное фрезерование на станках с ЧПУ, специальная очистка. |
Результат
Передав сложные, многопрофильные производственные процессы на единую платформу оборудования Openex, клиент получил первую партию из 60 очень сложных компонентов камер для наноразмерного травления безупречно и в срок. Наша эффективность придала мощный новый импульс отечественному производству оборудования, что привело к немедленному расширению контракта еще на 100 комплектов.